一种晶体生长过程高精度温度控制系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201720117600.5
申请日
2017-02-08
公开(公告)号
CN206486619U
公开(公告)日
2017-09-12
发明(设计)人
潘丰 沈正阳 邹金鹏
申请人
申请人地址
214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
IPC主分类号
C30B708
IPC分类号
C30B2914
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶体生长过程高精度温度控制系统 [P]. 
潘丰 ;
沈正阳 ;
邹金鹏 .
中国专利 :CN106637381A ,2017-05-10
[2]
一种晶体生长过程高宽比控制方法 [P]. 
潘丰 ;
王蕾 .
中国专利 :CN110359081B ,2019-10-22
[3]
一种晶体生长温度控制系统 [P]. 
夏钰坤 ;
夏宗仁 ;
曹义育 ;
曹远虎 ;
程红鹏 ;
张婷 ;
夏文英 .
中国专利 :CN213447385U ,2021-06-15
[4]
一种高精度温度控制系统 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN114647265A ,2022-06-21
[5]
用于锗单晶生长过程中的高精度温度控制方法及控制系统 [P]. 
张红勇 .
中国专利 :CN101392405B ,2009-03-25
[6]
用于晶体生长过程中温度控制的方法和系统 [P]. 
薛抗美 ;
刘林艳 ;
高海棠 .
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[7]
一种晶体生长炉温度控制系统 [P]. 
蒋相站 ;
吐尔迪·吾买尔 .
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[8]
一种PVT晶体生长过程精确可控的生长装置 [P]. 
忻隽 ;
孔海宽 ;
涂小牛 ;
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[9]
一种高精度温度控制系统 [P]. 
张帅 ;
鲁爱昕 ;
施奇兵 ;
高娜 ;
潘焕双 .
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[10]
一种高精度温度控制系统 [P]. 
崔静 ;
郭金龙 ;
沙利烽 ;
吴冬 ;
程思奇 .
中国专利 :CN203705994U ,2014-07-09