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用于晶体生长过程中温度控制的方法和系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010311608.1
申请日：
2020-04-20
公开(公告)号：
CN112080794A
公开(公告)日：
2020-12-15
发明(设计)人：
薛抗美
刘林艳
高海棠
申请人：
申请人地址：
221000 江苏省徐州市经济开发区鑫芯路1号
IPC主分类号：
C30B1520
IPC分类号：
C30B2906
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
陈晓;闫小龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/20 申请日:20200420 |
| 2020-12-15 | 公开 | 公开 |