一种用于真空镀膜的拼接式载板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020842762.7

申请日：

2020-05-19

公开(公告)号：

CN212084970U

公开(公告)日：

2020-12-04

发明(设计)人：

唐青岗付浩然唐群韩仕伟

申请人：

申请人地址：

518105 广东省深圳市宝安区松岗街道同富裕工业区安润路2号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L3118 C23C1450

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

罗伟富

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型拼接式真空镀膜载板 [P].

汪继勇 ;

孙海龙 ;

南志华 ;

李文红 .

中国专利 :CN217869079U ,2022-11-22

[2]

一种用于真空镀膜承载硅片的载板 [P].

庄正军 ;

范恒灵 ;

上官泉元 .

中国专利 :CN218160316U ,2022-12-27

[3]

一种用于真空镀膜设备的载板 [P].

陈晨 ;

周剑 ;

张永胜 ;

孙健 ;

王青松 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN210916243U ,2020-07-03

[4]

一种载板及真空镀膜装置 [P].

孙健 ;

杨艳红 ;

刘亚南 ;

陈晨 ;

王炯 .

中国专利 :CN222043346U ,2024-11-22

[5]

一种载板及真空镀膜装置 [P].

周剑 ;

刘亚南 ;

陈晨 ;

孙健 ;

杨艳红 ;

王登志 .

中国专利 :CN222043345U ,2024-11-22

[6]

一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉 [P].

吴晓明 .

中国专利 :CN211036071U ,2020-07-17

[7]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965B ,2024-08-23

[8]

传送载板及真空镀膜设备 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN212270220U ,2021-01-01

[9]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965A ,2020-07-31

[10]

一种用于真空镀膜的夹具 [P].

尹刚 ;

张华静 ;

陈嘉伟 .

中国专利 :CN222274669U ,2024-12-31

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