晶体缺陷的检测方法与检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210131296.5

申请日：

2022-02-14

公开(公告)号：

CN114166171B

公开(公告)日：

2022-03-11

发明(设计)人：

郝宁王力俎世琦

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

G01B2122

IPC分类号：

G01B2100 G01B2120 G01N3300 H01L2166

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

李红标

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	公开	公开
2022-09-27	授权	授权
2022-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/22 申请日:20220214

共 50 条

[1]

硅晶体缺陷检测方法 [P].

张兆民 .

中国专利 :CN107316822A ,2017-11-03

[2]

检测硅晶体缺陷的方法 [P].

华佑南 ;

李晓旻 .

中国专利 :CN104155302B ,2014-11-19

[3]

基于机器视觉的晶体缺陷检测方法 [P].

郑东 ;

高翔 ;

宋百乐 ;

秦冒晓 .

中国专利 :CN120161068B ,2025-09-19

[4]

基于机器视觉的晶体缺陷检测方法 [P].

郑东 ;

高翔 ;

宋百乐 ;

秦冒晓 .

中国专利 :CN120161068A ,2025-06-17

[5]

一种检测晶体缺陷的装置 [P].

张玉 ;

曹建民 ;

赵龙 ;

宋旭宁 ;

董永见 .

中国专利 :CN203465253U ,2014-03-05

[6]

一种大口径晶体缺陷检测方法及装置 [P].

张鹏 ;

孙付仲 ;

卢礼华 ;

梁迎春 .

中国专利 :CN103808694B ,2014-05-21

[7]

晶体缺陷的检测方法及晶棒生长方法 [P].

薛忠营 ;

栗展 ;

刘赟 .

中国专利 :CN114280069B ,2024-07-19

[8]

晶体缺陷的检测方法及晶棒生长方法 [P].

薛忠营 ;

栗展 ;

刘赟 .

中国专利 :CN114280069A ,2022-04-05

[9]

一种碳化硅晶体缺陷的检测装置 [P].

李天运 ;

邱艳丽 .

中国专利 :CN221782139U ,2024-09-27

[10]

一种碳化硅晶体缺陷的检测装置 [P].

陈敬楠 ;

张平 ;

邹宇 .

中国专利 :CN213986159U ,2021-08-17

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