一种用于金刚石单晶生长的MPCVD装置及生长方法

被引：0

申请号：

CN202210668808.1

申请日：

2022-06-14

公开(公告)号：

CN115044970A

公开(公告)日：

2022-09-13

发明(设计)人：

龚闯满卫东蒋梅荣杨春梅杨武

申请人：

申请人地址：

201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

C30B2514 C30B2904 C23C16511 C23C1627 C23C16455

代理机构：

上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312

代理人：

梁剑

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-13	公开	公开
2023-02-10	授权	授权

共 50 条

[1]

用于金刚石单晶生长的MPCVD装置 [P].

朱嘉琦 ;

郝晓斌 ;

李一村 ;

代兵 ;

刘雪冬 .

中国专利 :CN113957522A ,2022-01-21

[2]

MPCVD单晶金刚石生长钼托及单晶金刚石的生长方法 [P].

马孟宇 ;

蔚翠 ;

郭建超 ;

刘庆斌 ;

王亚伟 ;

周闯杰 ;

何泽召 ;

冯志红 .

中国专利 :CN114686971A ,2022-07-01

[3]

一种基于MPCVD的金刚石单晶生长方法 [P].

张新峰 ;

吴志亮 ;

周磊峰 ;

缪勇 .

中国专利 :CN117947512A ,2024-04-30

[4]

一种用于有瑕疵的金刚石籽晶的MPCVD单晶金刚石生长方法 [P].

张新峰 ;

高欣 .

中国专利 :CN120026389A ,2025-05-23

[5]

用于含裂纹籽晶的MPCVD单晶金刚石的生长方法 [P].

朱嘉琦 ;

李一村 ;

代兵 ;

郝晓斌 .

中国专利 :CN114232086B ,2022-03-25

[6]

一种生长金刚石单晶用样品托及金刚石单晶生长方法 [P].

丁雄傑 ;

王忠强 ;

王琦 ;

张国义 .

中国专利 :CN111074343A ,2020-04-28

[7]

一种生长金刚石的MPCVD装置 [P].

郭鋆 ;

张国凯 ;

刘厚盛 ;

李港雨 ;

曹通 ;

翟东升 ;

杨光 .

中国专利 :CN220999953U ,2024-05-24

[8]

一种MPCVD单晶金刚石拼接生长方法 [P].

朱嘉琦 ;

李一村 ;

代兵 ;

郝晓斌 ;

文东岳 .

中国专利 :CN114411250A ,2022-04-29

[9]

一种金刚石生长托盘、金刚石生长装置及金刚石生长方法 [P].

曾凡初 ;

胡清明 .

中国专利 :CN117604628A ,2024-02-27

[10]

利用固态碳源的无气流MPCVD单晶金刚石生长方法 [P].

朱嘉琦 ;

李一村 ;

代兵 ;

郝晓斌 ;

赵继文 ;

张森 .

中国专利 :CN112877773B ,2021-06-01

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