基底的氮化处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911047844.0

申请日：

2019-10-30

公开(公告)号：

CN110752147B

公开(公告)日：

2020-02-04

发明(设计)人：

王青董雅娟

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-04	公开	公开
2021-11-26	授权	授权
2020-02-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20191030

共 50 条

[1]

氮化处理装置以及氮化处理方法 [P].

阿部麻衣子 ;

赤理孝一郎 .

中国专利 :CN112703268A ,2021-04-23

[2]

氮化处理的后处理方法 [P].

依田惠市 ;

黑须保 .

中国专利 :CN85106068A ,1987-02-25

[3]

取向性电磁钢板的氮化处理设备和氮化处理方法 [P].

松田广志 ;

高桥秀行 ;

山口广 ;

早川康之 ;

新垣之启 ;

寺岛敬 .

中国专利 :CN105074043A ,2015-11-18

[4]

等离子体氮化处理方法和等离子体氮化处理装置 [P].

高槻浩一 ;

山崎和良 ;

野口秀幸 ;

田村大辅 ;

齐藤智博 .

中国专利 :CN102725834B ,2012-10-10

[5]

等离子体氮化处理方法 [P].

出张俊宪 ;

佐野正树 .

中国专利 :CN102725835A ,2012-10-10

[6]

等离子体氮化处理方法 [P].

松山征嗣 ;

中西敏雄 ;

尾崎成则 ;

足立光 ;

高槻浩一 ;

佐藤吉宏 .

中国专利 :CN102181819A ,2011-09-14

[7]

等离子体氮化处理方法 [P].

北川淳一 ;

小林岳志 .

中国专利 :CN101908484A ,2010-12-08

[8]

等离子体氮化处理方法 [P].

大崎良规 ;

黑田豪 .

中国专利 :CN102737977A ,2012-10-17

[9]

钛材料的表面氮化处理方法 [P].

小茂鸟润 ;

太田俊平 ;

深泽剑吾 ;

三阪佳孝 ;

川嵜一博 .

中国专利 :CN107683344A ,2018-02-09

[10]

选择性等离子体氮化处理方法和等离子体氮化处理装置 [P].

门田太一 ;

中村秀雄 ;

北川淳一 .

中国专利 :CN102414803A ,2012-04-11

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