一种单晶β-Ga2O3MSM型探测器及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202211324539.3

申请日：

2022-10-27

公开(公告)号：

CN115566104A

公开(公告)日：

2023-01-03

发明(设计)人：

黄传真田龙刘含莲史振宇姚鹏刘盾邹斌朱洪涛王真王敏婷王军徐龙华黄水泉曲美娜许征凯关亚彬

申请人：

申请人地址：

250061 山东省济南市历下区经十路17923号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2102 H01L21428 H01L310224 H01L310352 H01L3109 B08B302 B23K26354

代理机构：

济南圣达知识产权代理有限公司 37221

代理人：

王磊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	公开	公开
2023-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20221027

共 50 条

[1]

一种单晶β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>MSM型探测器及其制备方法 [P].

黄传真 ;

田龙 ;

刘含莲 ;

史振宇 ;

姚鹏 ;

刘盾 ;

邹斌 ;

朱洪涛 ;

王真 ;

王敏婷 ;

王军 ;

徐龙华 ;

黄水泉 ;

曲美娜 ;

许征凯 ;

关亚彬 .

中国专利 :CN115566104B ,2025-11-11

[2]

一种Ga2O3紫外探测器及其制备方法 [P].

陈星 ;

刘可为 ;

申德振 ;

李炳辉 ;

张振中 .

中国专利 :CN111628018B ,2020-09-04

[3]

一种Ga2O3紫外探测器及其制备方法 [P].

陈星 ;

刘可为 ;

申德振 ;

张振中 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN111584658B ,2020-08-25

[4]

一种MSM型α-Ga2O3基日盲紫外光探测器 [P].

何云斌 ;

黄攀 ;

黎明锴 ;

卢寅梅 ;

刘琦 ;

李迎香 ;

张清风 ;

陈俊年 .

中国专利 :CN111293181B ,2020-06-16

[5]

一种MSM光电探测器的制备方法及MSM光电探测器 [P].

陈长水 .

中国专利 :CN103268903B ,2013-08-28

[6]

一种自驱动MSM紫外探测器及其制备方法 [P].

郭炜 ;

国琛雨 ;

陈荔 ;

叶继春 .

中国专利 :CN114530519A ,2022-05-24

[7]

一种自驱动MSM紫外探测器及其制备方法 [P].

郭炜 ;

国琛雨 ;

陈荔 ;

叶继春 .

中国专利 :CN114530519B ,2024-04-02

[8]

非晶Ga2O3光电探测器及其制备方法和性能提升方法 [P].

隋妍心 ;

霍文星 ;

王涛 ;

韩祖银 ;

朱锐 ;

梅增霞 ;

梁会力 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN111697090A ,2020-09-22

[9]

一种Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器及其制备方法 [P].

郭道友 ;

秦新元 ;

王顺利 ;

时浩泽 ;

李培刚 ;

唐为华 ;

沈静琴 .

中国专利 :CN106409963B ,2017-02-15

[10]

一种非晶Ga2O3日盲紫外探测器及其制备方法和应用 [P].

崔书娟 ;

梅增霞 ;

张永晖 ;

梁会力 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN108963027A ,2018-12-07

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