一种单晶β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>MSM型探测器及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202211324539.3
申请日
2022-10-27
公开(公告)号
CN115566104B
公开(公告)日
2025-11-11
发明(设计)人
黄传真 田龙 刘含莲 史振宇 姚鹏 刘盾 邹斌 朱洪涛 王真 王敏婷 王军 徐龙华 黄水泉 曲美娜 许征凯 关亚彬
申请人
山东大学 燕山大学
申请人地址
250061 山东省济南市历下区经十路17923号
IPC主分类号
H10F71/00
IPC分类号
H01L21/02 H01L21/428 H10F77/20 H10F77/14 H10F30/227 B08B3/02 B23K26/354
代理机构
济南圣达知识产权代理有限公司 37221
代理人
王磊
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种单晶β-Ga2O3MSM型探测器及其制备方法 [P]. 
黄传真 ;
田龙 ;
刘含莲 ;
史振宇 ;
姚鹏 ;
刘盾 ;
邹斌 ;
朱洪涛 ;
王真 ;
王敏婷 ;
王军 ;
徐龙华 ;
黄水泉 ;
曲美娜 ;
许征凯 ;
关亚彬 .
中国专利 :CN115566104A ,2023-01-03
[2]
Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>光电探测器及提高Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>光电探测器的探测能力的方法 [P]. 
张文瑞 ;
张金福 ;
王维 ;
章建国 ;
叶继春 .
中国专利 :CN118867036A ,2024-10-29
[3]
Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Bi<sub>2</sub>Te<sub>3</sub>横向异质结光电探测器及其制备方法 [P]. 
白甜甜 ;
顾培民 .
中国专利 :CN120529679A ,2025-08-22
[4]
一种Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>紫外探测器及其制备方法和应用 [P]. 
刘艳涛 ;
黄荣 ;
林涛 ;
党佳乐 ;
黄昊翔 .
中国专利 :CN118919600A ,2024-11-08
[5]
一种β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Lu<sub>2</sub>O<sub>3</sub>异质结自供电深紫外探测器及其制备方法 [P]. 
杨军 ;
王顺利 ;
吴然红 ;
郭道友 ;
张鑫江 ;
郑明山 ;
夏紫辉 .
中国专利 :CN118738196A ,2024-10-01
[6]
SiC/Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>异质结单光子紫外探测器及其制备方法 [P]. 
袁昊 ;
杜丰羽 ;
韩超 .
中国专利 :CN119855274A ,2025-04-18
[7]
SiC/Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>异质结单光子紫外探测器及其制备方法 [P]. 
袁昊 ;
杜丰羽 ;
韩超 .
中国专利 :CN119855274B ,2025-09-30
[8]
基于In<sub>2</sub>Se<sub>3</sub>/Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>异质结结构的两端MSM日盲型紫外光电探测器 [P]. 
王浩 ;
危家昀 ;
韩伟 ;
关爽 ;
沈谅平 .
中国专利 :CN117594676B ,2024-11-05
[9]
一种Sn掺杂Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>紫外探测器及其制备方法和应用 [P]. 
刘艳涛 ;
黄荣 ;
林涛 .
中国专利 :CN118299466A ,2024-07-05
[10]
一种β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>晶体的助熔剂及其单晶X射线探测器的制备方法 [P]. 
胡章贵 ;
陈志贤 ;
郭晓杰 ;
周金杰 .
中国专利 :CN121228339A ,2025-12-30