湿法刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410709547.9

申请日：

2014-11-28

公开(公告)号：

CN104409397B

公开(公告)日：

2015-03-11

发明(设计)人：

张田超

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

唐清凯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-16	授权	授权
2015-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101604805290 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014107095479 申请日:20141128
2015-03-11	公开	公开

共 50 条

[1]

湿法刻蚀系统、湿法刻蚀方法 [P].

姚嫦娲 .

中国专利 :CN103985660B ,2014-08-13

[2]

湿法刻蚀装置 [P].

陈毅 ;

章伟冠 ;

杨小宇 ;

赵相伟 .

中国专利 :CN223347741U ,2025-09-16

[3]

湿法刻蚀装置及其刻蚀方法 [P].

常建宇 .

中国专利 :CN104091775A ,2014-10-08

[4]

湿法刻蚀装置及其刻蚀方法 [P].

邓镭 .

中国专利 :CN102945802A ,2013-02-27

[5]

硅片湿法刻蚀装置 [P].

尹丽丽 ;

郎芳 ;

潘明翠 ;

李献朋 ;

郭晓杰 ;

于航 ;

薛敬伟 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN222421892U ,2025-01-28

[6]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[7]

湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P].

郝晓波 .

中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26

[8]

湿法刻蚀装置 [P].

张杰真 ;

刘命江 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN109273382A ,2019-01-25

[9]

湿法刻蚀装置 [P].

乔鹏 .

中国专利 :CN223471577U ,2025-10-24

[10]

湿法刻蚀装置 [P].

刘俊领 .

中国专利 :CN109244009A ,2019-01-18

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