湿法刻蚀装置及其刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410351266.0

申请日：

2014-07-22

公开(公告)号：

CN104091775A

公开(公告)日：

2014-10-08

发明(设计)人：

常建宇

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304

代理人：

孙伟峰;杨林

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-22	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706411196 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014103512660 变更事项:发明人变更前:常建宇变更后:李嘉
2017-02-15	授权	授权
2014-10-08	公开	公开
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587988777 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014103512660 申请日:20140722

共 50 条

[1]

湿法刻蚀装置及其刻蚀方法 [P].

邓镭 .

中国专利 :CN102945802A ,2013-02-27

[2]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[3]

硅片湿法刻蚀设备及其刻蚀方法 [P].

卫志敏 ;

肖新民 ;

丁志强 ;

祁宏山 ;

王文杰 ;

彭文龙 .

中国专利 :CN103805998A ,2014-05-21

[4]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[5]

湿法刻蚀系统及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN106653659A ,2017-05-10

[6]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06

[7]

湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P].

郝晓波 .

中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26

[8]

湿法刻蚀系统、湿法刻蚀方法 [P].

姚嫦娲 .

中国专利 :CN103985660B ,2014-08-13

[9]

湿法刻蚀方法 [P].

张泉 ;

杨谊 ;

王春伟 .

中国专利 :CN111799168A ,2020-10-20

[10]

湿法刻蚀装置 [P].

张田超 .

中国专利 :CN104409397B ,2015-03-11

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