湿法刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811019132.3

申请日：

2018-09-03

公开(公告)号：

CN109244009A

公开(公告)日：

2019-01-18

发明(设计)人：

刘俊领

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20190118
2019-01-18	公开	公开
2019-02-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180903

共 50 条

[1]

湿法刻蚀装置 [P].

李宁 ;

冷祥 ;

魏明 .

中国专利 :CN218039110U ,2022-12-13

[2]

湿法刻蚀装置 [P].

兰升友 ;

袁山富 .

中国专利 :CN217822683U ,2022-11-15

[3]

湿法刻蚀装置及其刻蚀方法 [P].

常建宇 .

中国专利 :CN104091775A ,2014-10-08

[4]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[5]

湿法刻蚀槽以及湿法刻蚀设备 [P].

刘海亮 ;

王鹏涛 ;

严清涛 ;

许非凡 .

中国专利 :CN206541807U ,2017-10-03

[6]

湿法刻蚀器件和湿法刻蚀机 [P].

刘峻承 ;

涂智超 ;

黄于维 .

中国专利 :CN204596768U ,2015-08-26

[7]

湿法刻蚀系统及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN106653659A ,2017-05-10

[8]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[9]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06

[10]

湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P].

郝晓波 .

中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26

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