光刻胶排放系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821717734.1

申请日：

2018-10-23

公开(公告)号：

CN208848032U

公开(公告)日：

2019-05-10

发明(设计)人：

郑义强

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G03F730

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶排放系统及光刻胶排放方法 [P].

郑义强 .

中国专利 :CN111090219A ,2020-05-01

[2]

光刻胶输送系统 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114345644A ,2022-04-15

[3]

负性光刻胶废液的排放装置 [P].

张垚 .

中国专利 :CN220543257U ,2024-02-27

[4]

光刻胶供应系统 [P].

殷瑞腾 ;

周雪松 ;

刘贤杰 ;

杨方 ;

薛佳豪 .

中国专利 :CN223530667U ,2025-11-11

[5]

光刻胶喷涂装置和光刻胶喷涂系统 [P].

陈宁 ;

刘兴东 .

中国专利 :CN203275872U ,2013-11-06

[6]

光刻胶供给管路清洗系统 [P].

郭浩 .

中国专利 :CN209303378U ,2019-08-27

[7]

光刻胶烘箱 [P].

徐敏洙 .

中国专利 :CN214704309U ,2021-11-12

[8]

光刻胶桶 [P].

崔相玉 ;

魏明德 ;

金惠东 ;

金度亨 .

中国专利 :CN204323945U ,2015-05-13

[9]

光刻胶用量监控系统 [P].

赵敏敏 .

中国专利 :CN205719198U ,2016-11-23

[10]

光刻胶容器 [P].

袁伟 .

中国专利 :CN202423237U ,2012-09-05

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