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对准装置、光刻机以及对准方法
被引：0
申请号：
CN202011625887.5
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN114690595A
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
邢奕飞
高安
孙建超
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F900
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
王宏婧
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20201231 |