多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510013378.6

申请日：

2005-04-29

公开(公告)号：

CN1272602C

公开(公告)日：

2005-09-28

发明(设计)人：

杨保和陈希明吴小国马靖

申请人：

申请人地址：

300191天津市南开区红旗路263号

IPC主分类号：

G01B2108

IPC分类号：

G01B706

代理机构：

天津佳盟知识产权代理有限公司

代理人：

廖晓荣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-07-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004178744 IPC(主分类):G01B 21/08 专利号:ZL2005100133786 申请日:20050429 授权公告日:20060830
2006-08-30	授权	授权
2005-09-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种金属薄膜厚度无损测量方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

沈月 ;

王传军 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

刘子其 .

中国专利 :CN117570861A ,2024-02-20

[2]

多层复合薄膜结构的力学参数测量方法及装置 [P].

周再发 ;

孙超 ;

郭欣格 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN107063839A ,2017-08-18

[3]

基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层厚度无损测量方法 [P].

裴翠祥 ;

钱程 ;

寇兴 .

中国专利 :CN113587866A ,2021-11-02

[4]

薄膜层厚度的测量方法 [P].

张硕 ;

周璐 .

中国专利 :CN112697080A ,2021-04-23

[5]

金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[6]

包覆燃料颗粒各层厚度自动测量方法 [P].

杨志远 ;

王世俊 .

中国专利 :CN106767458A ,2017-05-31

[7]

薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN112146581A ,2020-12-29

[8]

薄膜厚度的测量方法和装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118999377B ,2025-03-07

[9]

薄膜厚度的测量方法和装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118999377A ,2024-11-22

[10]

薄膜厚度的测量方法和设备 [P].

T·W·贾辛斯基 ;

F·M·哈兰 .

中国专利 :CN101120230A ,2008-02-06

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