薄膜厚度的测量方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910561172.9

申请日：

2019-06-26

公开(公告)号：

CN112146581A

公开(公告)日：

2020-12-29

发明(设计)人：

李政

申请人：

申请人地址：

230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01B1502

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-29	公开	公开
2021-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20190626

共 50 条

[1]

薄膜厚度的测量装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN209991941U ,2020-01-24

[2]

一种薄膜厚度的测量方法以及测量装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN114018199A ,2022-02-08

[3]

衬底上生长薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

刘宇航 ;

许诺 ;

汪震海 .

中国专利 :CN110794172A ,2020-02-14

[4]

薄膜厚度的测量方法和装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118999377B ,2025-03-07

[5]

薄膜厚度的测量方法和装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118999377A ,2024-11-22

[6]

薄膜层厚度的测量方法 [P].

张硕 ;

周璐 .

中国专利 :CN112697080A ,2021-04-23

[7]

金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[8]

一种薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

刘向东 ;

彭鑫 ;

蔡伦 ;

吴新荣 ;

闫用用 .

中国专利 :CN118500265A ,2024-08-16

[9]

厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

[10]

热导率测量方法及测量装置 [P].

宋柏 ;

何海宇 ;

王毓熙 .

中国专利 :CN120028378A ,2025-05-23

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