薄膜厚度的测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920991578.6

申请日：

2019-06-26

公开(公告)号：

CN209991941U

公开(公告)日：

2020-01-24

发明(设计)人：

李政

申请人：

申请人地址：

230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01B1502

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN112146581A ,2020-12-29

[2]

一种薄膜厚度的测量方法以及测量装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN114018199A ,2022-02-08

[3]

薄膜厚度测量装置 [P].

肖青 ;

傅谦 ;

张大龙 ;

王兴龙 .

中国专利 :CN204043623U ,2014-12-24

[4]

薄膜厚度测量装置 [P].

郑志远 ;

樊振军 ;

张自力 .

中国专利 :CN202041181U ,2011-11-16

[5]

厚度测量装置 [P].

何文权 ;

李玉琼 ;

滕靖 .

中国专利 :CN201122093Y ,2008-09-24

[6]

超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法 [P].

胡国行 ;

单尧 ;

谷利元 ;

贺洪波 ;

曾爱军 .

中国专利 :CN107504907A ,2017-12-22

[7]

一种薄膜厚度测量装置 [P].

严钊洋 ;

王月宣 .

中国专利 :CN215447841U ,2022-01-07

[8]

测量装置与测量薄膜的厚度的方法 [P].

刘金元 .

中国专利 :CN103175458A ,2013-06-26

[9]

10～100μm固体薄膜厚度的测量装置 [P].

李胜利 ;

崔雪英 ;

敖青 .

中国专利 :CN203349807U ,2013-12-18

[10]

薄膜厚度的测量装置及方法 [P].

佟艳群 ;

石琳 ;

任旭东 ;

姚红兵 ;

张永康 ;

顾凌军 ;

岳震 .

中国专利 :CN104748691A ,2015-07-01

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