薄膜厚度测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120080372.1

申请日：

2011-03-24

公开(公告)号：

CN202041181U

公开(公告)日：

2011-11-16

发明(设计)人：

郑志远樊振军张自力

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路29号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003

代理人：

尹振启

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-16	授权	授权
2013-05-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101457534281 IPC(主分类):G01B 11/06 专利号:ZL2011200803721 申请日:20110324 授权公告日:20111116 终止日期:20120324

共 50 条

[1]

薄膜厚度测量装置 [P].

肖青 ;

傅谦 ;

张大龙 ;

王兴龙 .

中国专利 :CN204043623U ,2014-12-24

[2]

薄膜厚度测量装置 [P].

刘飞翔 ;

蒲以康 .

中国专利 :CN103673903A ,2014-03-26

[3]

薄膜厚度测量装置 [P].

邹锴 ;

冯宝朋 ;

郭贝 ;

唐超宛 ;

汪杰 ;

陈远 .

中国专利 :CN223636808U ,2025-12-05

[4]

薄膜厚度测量装置 [P].

李焯 ;

杨进城 ;

钟茂声 ;

吕文选 .

中国专利 :CN87207427U ,1988-04-20

[5]

薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[6]

薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[7]

一种石墨烯薄膜厚度测量装置 [P].

夏中均 ;

刘学涌 ;

郑代芳 ;

彭勇 ;

邱兴旭 .

中国专利 :CN216206062U ,2022-04-05

[8]

一种薄膜厚度测量装置 [P].

申振锁 ;

周宏铎 .

中国专利 :CN209432048U ,2019-09-24

[9]

一种薄膜厚度测量装置 [P].

严钊洋 ;

王月宣 .

中国专利 :CN215447841U ,2022-01-07

[10]

一种实现薄膜厚度精确测量的装置 [P].

熊建文 ;

彭力 ;

邓解关 ;

李莉莉 .

中国专利 :CN202709996U ,2013-01-30

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