一种实现薄膜厚度精确测量的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220340914.9

申请日：

2012-07-13

公开(公告)号：

CN202709996U

公开(公告)日：

2013-01-30

发明(设计)人：

熊建文彭力邓解关李莉莉

申请人：

申请人地址：

510631 广东省广州市中山大道西55号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

郑自群

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20120713 授权公告日:20130130 终止日期:20180713
2013-01-30	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜厚度测量装置 [P].

郑志远 ;

樊振军 ;

张自力 .

中国专利 :CN202041181U ,2011-11-16

[2]

一种精确度高的薄膜厚度测量装置 [P].

左芬 ;

程菊 ;

雷枫 .

中国专利 :CN206504701U ,2017-09-19

[3]

一种高精确度的薄膜厚度测量装置 [P].

王平 .

中国专利 :CN208505182U ,2019-02-15

[4]

一种高精确度的薄膜厚度测量装置 [P].

任万营 ;

张迪坚 .

中国专利 :CN214666539U ,2021-11-09

[5]

一种石墨烯薄膜的厚度测量装置 [P].

夏中均 ;

邱兴旭 ;

张剑 ;

郑代芳 ;

潘鑫 ;

王志 .

中国专利 :CN223283603U ,2025-08-29

[6]

薄膜厚度的测量装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN209991941U ,2020-01-24

[7]

一种石墨烯薄膜厚度测量装置 [P].

夏中均 ;

刘学涌 ;

郑代芳 ;

彭勇 ;

邱兴旭 .

中国专利 :CN216206062U ,2022-04-05

[8]

一种薄膜厚度测量装置 [P].

申振锁 ;

周宏铎 .

中国专利 :CN209432048U ,2019-09-24

[9]

一种薄膜厚度测量装置 [P].

严钊洋 ;

王月宣 .

中国专利 :CN215447841U ,2022-01-07

[10]

薄膜厚度测量装置 [P].

肖青 ;

傅谦 ;

张大龙 ;

王兴龙 .

中国专利 :CN204043623U ,2014-12-24

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