一种薄膜厚度的测量方法以及测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210013788.4

申请日：

2022-01-07

公开(公告)号：

CN114018199A

公开(公告)日：

2022-02-08

发明(设计)人：

李政

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

G01B2108

IPC分类号：

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

张李静;张颖玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-18	授权	授权
2022-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/08 申请日:20220107
2022-02-08	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN112146581A ,2020-12-29

[2]

薄膜厚度的测量装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN209991941U ,2020-01-24

[3]

一种薄膜层厚度测量方法及测量装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118794359A ,2024-10-18

[4]

一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法 [P].

徐仰立 ;

李昊清 ;

杨泽凌 ;

任晨旭 ;

黄国钦 ;

徐西鹏 .

中国专利 :CN118189833B ,2025-10-21

[5]

一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法 [P].

徐仰立 ;

李昊清 ;

杨泽凌 ;

任晨旭 ;

黄国钦 ;

徐西鹏 .

中国专利 :CN118189833A ,2024-06-14

[6]

超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法 [P].

胡国行 ;

单尧 ;

谷利元 ;

贺洪波 ;

曾爱军 .

中国专利 :CN107504907A ,2017-12-22

[7]

一种厚度的测量装置及其测量方法 [P].

罗志高 ;

罗登红 ;

武春龙 ;

韦醒龙 ;

陈莹莹 .

中国专利 :CN110044312A ,2019-07-23

[8]

薄膜厚度的测量方法和装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118999377B ,2025-03-07

[9]

薄膜厚度的测量方法和装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118999377A ,2024-11-22

[10]

厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

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