一种薄膜层厚度测量方法及测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411288540.4

申请日：

2024-09-14

公开(公告)号：

CN118794359A

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

戴丹蕾相宇阳俞胜武

申请人：

无锡卓海科技股份有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区珠江路97号

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

H01L21/66

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

蔡舒野

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20240914
2024-10-18	公开	公开
2025-07-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G01B 11/06申请公布日:20241018

共 50 条

[1]

膜层厚度测量方法及膜层厚度测量装置 [P].

刘公才 .

中国专利 :CN108981624A ,2018-12-11

[2]

厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

[3]

混凝土浮浆层厚度测量装置及测量方法 [P].

赵天奇 ;

徐俊鹏 ;

秦娟 .

中国专利 :CN120274614A ,2025-07-08

[4]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

日本专利 :CN114325734B ,2025-02-25

[5]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

D·克雷坦 .

中国专利 :CN104619264A ,2015-05-13

[6]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN114325734A ,2022-04-12

[7]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN107037437B ,2017-08-11

[8]

薄膜层厚度的测量方法 [P].

张硕 ;

周璐 .

中国专利 :CN112697080A ,2021-04-23

[9]

薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[10]

薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

← 1 2 3 4 5 →