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薄膜层厚度的测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011482840.8
申请日：
2020-12-16
公开(公告)号：
CN112697080A
公开(公告)日：
2021-04-23
发明(设计)人：
张硕
周璐
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
G01B1502
IPC分类号：
G01N232273
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤;高翠花
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 15/02 申请日:20201216 |
| 2022-12-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 15/02 申请公布日:20210423 |
| 2021-04-23 | 公开 | 公开 |