化镀金属层薄膜厚度的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410693101.5

申请日：

2024-09-04

公开(公告)号：

CN118737868A

公开(公告)日：

2024-10-01

发明(设计)人：

包茜莲谭秀文肖酉朱田张宗尧

申请人：

华虹半导体（无锡）有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G01B15/02

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

戴广志

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240904
2024-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜层厚度的测量方法 [P].

张硕 ;

周璐 .

中国专利 :CN112697080A ,2021-04-23

[2]

金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[3]

溅镀金属膜厚度测量方法及其系统 [P].

茆同海 ;

侯汉成 ;

刘坤明 ;

宋嘉铭 .

中国专利 :CN118315296A ,2024-07-09

[4]

外延层厚度的测量方法 [P].

严耿昕 ;

曹敏 ;

张凯元 ;

姜俏 .

中国专利 :CN119905415A ,2025-04-29

[5]

胶层厚度测量方法 [P].

李禹 .

中国专利 :CN103217137B ,2013-07-24

[6]

金属镀层厚度的测量方法 [P].

李建强 ;

杨金虎 ;

乔彦彬 ;

隗合鹏 ;

陈燕宁 ;

原义栋 .

中国专利 :CN109269451A ,2019-01-25

[7]

涡流侦测装置以及金属层厚度的测量方法 [P].

邢程 ;

孙鹏 .

中国专利 :CN113664712A ,2021-11-19

[8]

一种薄膜层厚度测量方法及测量装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118794359A ,2024-10-18

[9]

一种金属薄膜厚度无损测量方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

沈月 ;

王传军 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

刘子其 .

中国专利 :CN117570861A ,2024-02-20

[10]

薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN112146581A ,2020-12-29

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