一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410209863.3

申请日：

2024-02-26

公开(公告)号：

CN118189833B

公开(公告)日：

2025-10-21

发明(设计)人：

徐仰立李昊清杨泽凌任晨旭黄国钦徐西鹏

申请人：

华侨大学

申请人地址：

362000 福建省泉州市城华北路269号

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

代理机构：

厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222

代理人：

林杰德

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

福建省泉州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20240226
2025-10-21	授权	授权
2024-06-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法 [P].

徐仰立 ;

李昊清 ;

杨泽凌 ;

任晨旭 ;

黄国钦 ;

徐西鹏 .

中国专利 :CN118189833A ,2024-06-14

[2]

一种晶锭磨削厚度测量装置及测量方法 [P].

谢贵久 ;

贺东葛 ;

金豪 ;

赵壮壮 .

中国专利 :CN117464565A ,2024-01-30

[3]

一种楼板厚度测量装置及其测量方法 [P].

史一杰 ;

高俊文 ;

马超 ;

王娟娟 ;

王堆茂 ;

郭元元 ;

王红亮 ;

张鹏洁 ;

白岩泽 ;

谢通达 .

中国专利 :CN118533029A ,2024-08-23

[4]

一种连杆厚度测量装置及其测量方法 [P].

缪桃生 ;

丁平峰 ;

王琪 ;

卞翔 ;

陶丽佳 ;

孙丁宇 ;

杜佳轩 ;

包振明 .

中国专利 :CN114322737A ,2022-04-12

[5]

一种晶片厚度测量装置及其测量方法 [P].

冯克耀 ;

杨丽莉 ;

俞宽 ;

蒋智伟 ;

蔡家豪 ;

邱智中 ;

张家宏 .

中国专利 :CN106839937A ,2017-06-13

[6]

厚度测量装置、系统及测量方法 [P].

郑宇现 ;

周娜 ;

李俊杰 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111649680A ,2020-09-11

[7]

厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

[8]

一种薄膜层厚度测量方法及测量装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118794359A ,2024-10-18

[9]

光纤干涉式厚度测量装置及其测量方法 [P].

林志泉 .

中国专利 :CN1796929A ,2006-07-05

[10]

一种晶圆片厚度测量装置及其测量方法 [P].

林志鹏 ;

康鸿明 ;

林文垚 ;

卢甲贞 ;

陈靖世 .

中国专利 :CN113380653A ,2021-09-10

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