一种薄膜厚度的测量方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310137209.1

申请日：

2023-02-09

公开(公告)号：

CN118500265A

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

刘向东彭鑫蔡伦吴新荣闫用用

申请人：

一道新能源科技股份有限公司

申请人地址：

324022 浙江省衢州市百灵南路43号

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01J3/46

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319

代理人：

莎日娜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	公开	公开
2024-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20230209

共 50 条

[1]

一种薄膜层厚度测量方法及测量装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118794359A ,2024-10-18

[2]

薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

李政 .

中国专利 :CN112146581A ,2020-12-29

[3]

薄膜厚度测量方法及装置 [P].

李起贤 ;

权途圣 ;

奇锡 ;

孙判睦 ;

车敏彻 ;

崔秉国 .

中国专利 :CN114166164A ,2022-03-11

[4]

薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[5]

薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[6]

一种薄膜厚度的测量方法及光学测量系统 [P].

陈鲁 ;

孙韬 ;

白园园 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN120101654A ,2025-06-06

[7]

金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[8]

厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

[9]

薄膜厚度的测量方法和设备 [P].

T·W·贾辛斯基 ;

F·M·哈兰 .

中国专利 :CN101120230A ,2008-02-06

[10]

一种薄膜厚度测量方法 [P].

马骏 ;

李江辉 ;

石雅婷 ;

张传维 ;

李伟奇 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112880574B ,2021-06-01

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