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晶圆薄膜的生长方法、炉管晶圆排布系统以及挡片
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010045542.6
申请日：
2020-01-16
公开(公告)号：
CN111235549A
公开(公告)日：
2020-06-05
发明(设计)人：
潘玉妹
詹冬武
潘国卫
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1654
代理机构：
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人：
蔡纯;刘静
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-05 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200116 |