晶圆片剥离装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010331526.3

申请日：

2020-04-24

公开(公告)号：

CN111403322B

公开(公告)日：

2020-07-10

发明(设计)人：

邵树宝王福亮储冬华陈利锋赵芹何婷婷陈素荣

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

姚姣阳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-10	公开	公开
2020-08-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200424
2022-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶圆片的剥离装置 [P].

陈超 .

中国专利 :CN222261008U ,2024-12-27

[2]

硅晶圆剥离方法以及硅晶圆剥离装置 [P].

松野行壮 ;

吉野道朗 ;

高桥正行 ;

古重徹 ;

山本雄士 .

中国专利 :CN103456668B ,2013-12-18

[3]

一种碳化硅晶圆片剥离方法及剥离装置 [P].

王蓉 ;

耿文浩 ;

皮孝东 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN114523220A ,2022-05-24

[4]

一种晶圆剥离方法及晶圆剥离装置 [P].

王宏建 ;

赵卫 ;

杨涛 ;

何自坚 ;

王自 .

中国专利 :CN112404697B ,2021-02-26

[5]

一种晶圆剥离装置及晶圆剥离方法 [P].

孙晓琪 ;

王康 ;

康家榕 ;

王浩 .

中国专利 :CN120921545A ,2025-11-11

[6]

一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置 [P].

王宏建 ;

赵卫 ;

何自坚 ;

杨涛 ;

王自 .

中国专利 :CN112404747B ,2021-02-26

[7]

一种晶圆剥离装置及晶圆剥离方法 [P].

裴勇 ;

史红涛 ;

杨步明 .

中国专利 :CN120862878A ,2025-10-31

[8]

晶圆剥离设备 [P].

吴森锋 ;

周鹏 ;

唐敏 ;

严海忠 .

中国专利 :CN115910863B ,2025-03-25

[9]

一种晶圆片冷冻剥离方法 [P].

朱伟杰 ;

刘霄 ;

刘东立 .

中国专利 :CN119340198A ,2025-01-21

[10]

一种晶圆剥离装置 [P].

陈文源 ;

张光日 .

中国专利 :CN216084808U ,2022-03-18

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