用于光刻机的调焦调平装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810037245.6

申请日：

2008-05-09

公开(公告)号：

CN101276160A

公开(公告)日：

2008-10-01

发明(设计)人：

廖飞红陈飞彪李小平程吉水李志科

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更变更前:华中科技大学变更后:华中科技大学号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754739220 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2008100372456 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更事项:共同专利权人
2008-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-09-15	授权	授权
2008-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674A ,2022-12-30

[2]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674B ,2025-08-26

[3]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542672A ,2022-12-30

[4]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN220651063U ,2024-03-22

[5]

调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 [P].

程于水 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114675497A ,2022-06-28

[6]

调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 [P].

程于水 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114675497B ,2025-05-20

[7]

一种调焦调平装置及光刻机 [P].

齐景超 ;

陈雪影 .

中国专利 :CN207780485U ,2018-08-28

[8]

一种调焦调平装置、光刻机及调焦调平的方法 [P].

季桂林 .

中国专利 :CN111061128A ,2020-04-24

[9]

气压测量装置及方法、调焦调平装置及光刻机设备 [P].

王丽 ;

王海江 .

中国专利 :CN106814545A ,2017-06-09

[10]

用于光刻机设备测量组件的测量方法、装置及光刻机 [P].

冯建斌 ;

陈南曙 .

中国专利 :CN114063400B ,2022-02-18

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