气压测量装置及方法、调焦调平装置及光刻机设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510856576.2

申请日：

2015-11-30

公开(公告)号：

CN106814545A

公开(公告)日：

2017-06-09

发明(设计)人：

王丽王海江

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 G01L1300

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-09	公开	公开
2017-09-08	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758758243 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015108565762 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更事项:申请人变更前:上海微高精密机械工程有限公司变更后:上海微高精密机械工程有限公司
2017-07-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015108565762 申请日:20151130 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101731400463
2018-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674A ,2022-12-30

[2]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674B ,2025-08-26

[3]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542672A ,2022-12-30

[4]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN220651063U ,2024-03-22

[5]

用于光刻机的调焦调平装置及测量方法 [P].

廖飞红 ;

陈飞彪 ;

李小平 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101276160A ,2008-10-01

[6]

一种调焦调平装置及光刻机 [P].

齐景超 ;

陈雪影 .

中国专利 :CN207780485U ,2018-08-28

[7]

调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN111352304B ,2020-06-30

[8]

一种调焦调平装置、光刻机及调焦调平的方法 [P].

季桂林 .

中国专利 :CN111061128A ,2020-04-24

[9]

调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 [P].

程于水 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114675497A ,2022-06-28

[10]

调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 [P].

程于水 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114675497B ,2025-05-20

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