调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011565072.2

申请日：

2020-12-25

公开(公告)号：

CN114675497B

公开(公告)日：

2025-05-20

发明(设计)人：

程于水徐荣伟庄亚政孙建超

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F9/00

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-20	授权	授权

共 50 条

[1]

调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 [P].

程于水 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114675497A ,2022-06-28

[2]

用于光刻机的调焦调平装置及测量方法 [P].

廖飞红 ;

陈飞彪 ;

李小平 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101276160A ,2008-10-01

[3]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542672A ,2022-12-30

[4]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674A ,2022-12-30

[5]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674B ,2025-08-26

[6]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN220651063U ,2024-03-22

[7]

振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法 [P].

庄亚政 .

中国专利 :CN105700297B ,2016-06-22

[8]

一种调焦调平装置、光刻机及调焦调平的方法 [P].

季桂林 .

中国专利 :CN111061128A ,2020-04-24

[9]

一种调焦调平装置及光刻机 [P].

齐景超 ;

陈雪影 .

中国专利 :CN207780485U ,2018-08-28

[10]

气压测量装置及方法、调焦调平装置及光刻机设备 [P].

王丽 ;

王海江 .

中国专利 :CN106814545A ,2017-06-09

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