振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410697616.9

申请日：

2014-11-27

公开(公告)号：

CN105700297B

公开(公告)日：

2016-06-22

发明(设计)人：

庄亚政

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-22	公开	公开
2017-09-05	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758716373 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014106976169 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2018-01-26	授权	授权
2016-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101670892980 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014106976169 申请日:20141127

共 50 条

[1]

调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 [P].

程于水 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114675497A ,2022-06-28

[2]

调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 [P].

程于水 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114675497B ,2025-05-20

[3]

调焦调平装置及方法 [P].

唐平玉 .

中国专利 :CN106933071A ,2017-07-07

[4]

一种测量范围可扩展的调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

潘炼东 ;

李志丹 ;

陈飞彪 ;

张冲 .

中国专利 :CN102033438A ,2011-04-27

[5]

一种调焦调平装置及方法 [P].

庄亚政 .

中国专利 :CN109426101A ,2019-03-05

[6]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

张冲 .

中国专利 :CN103365103A ,2013-10-23

[7]

大量程调焦调平装置、方法及调焦调平检测方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119472190A ,2025-02-18

[8]

调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN111352304B ,2020-06-30

[9]

一种调焦调平装置及方法 [P].

杜聚有 ;

宋海军 .

中国专利 :CN102736428B ,2012-10-17

[10]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

陆侃 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN103838088B ,2014-06-04

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