共 50 条
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410697616.9
申请日：
2014-11-27
公开(公告)号：
CN105700297B
公开(公告)日：
2016-06-22
发明(设计)人：
庄亚政
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F900
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-06-22 | 公开 | 公开 |
| 2017-09-05 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758716373 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014106976169 变更事项:申请人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号 变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号 |
| 2018-01-26 | 授权 | 授权 |
| 2016-07-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101670892980 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014106976169 申请日:20141127 |