化学气相沉积设备的控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220746563.1

申请日：

2012-12-31

公开(公告)号：

CN203007418U

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

张义明陈力兵祝龙飞房伟

申请人：

申请人地址：

314300 浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304

代理人：

杨林;马翠平

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101661346131 IPC(主分类):C23C 16/52 专利号:ZL2012207465631 申请日:20121231 授权公告日:20130619 终止日期:20141231
2013-06-19	授权	授权
2014-12-03	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101708079456 IPC(主分类):C23C 16/52 专利号:ZL2012207465631 申请日:20121231 授权公告日:20130619 登记生效日:20141029 解除日:无
2015-12-23	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725719450 IPC(主分类):C23C 16/52 专利号:ZL2012207465631 申请日:20121231 授权公告日:20130619 登记生效日:无解除日:20151029

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备的控制系统 [P].

张义明 ;

陈力兵 ;

祝龙飞 ;

房伟 .

中国专利 :CN103911602A ,2014-07-09

[2]

亚大气压化学气相沉积设备的气压控制系统 [P].

王磊 ;

江为团 ;

王建上 ;

陈明华 .

中国专利 :CN217077787U ,2022-07-29

[3]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[4]

一种化学气相沉积设备及其控制系统 [P].

程金帅 ;

李宏利 ;

孙胜浩 .

中国专利 :CN117758241A ,2024-03-26

[5]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202705462U ,2013-01-30

[6]

化学气相沉积设备 [P].

胡昌义 ;

雷春明 ;

毛勇 ;

郭锦新 ;

李靖华 ;

周世平 ;

徐云 ;

王云 ;

欧阳远良 .

中国专利 :CN2851277Y ,2006-12-27

[7]

化学气相沉积设备 [P].

杨贤烁 .

中国专利 :CN221275883U ,2024-07-05

[8]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223176201U ,2025-08-01

[9]

化学气相沉积设备 [P].

丁欣 .

中国专利 :CN209010598U ,2019-06-21

[10]

化学气相沉积设备 [P].

陈雄博 ;

罗光林 .

中国专利 :CN203049032U ,2013-07-10

← 1 2 3 4 5 →