亚大气压化学气相沉积设备的气压控制系统

被引：0

申请号：

CN202220573923.6

申请日：

2022-03-16

公开(公告)号：

CN217077787U

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

王磊江为团王建上陈明华

申请人：

申请人地址：

361026 福建省厦门市海沧区兰英路89号

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C1644 C23C16458 H01L21205

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

马陆娟

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备的控制系统 [P].

张义明 ;

陈力兵 ;

祝龙飞 ;

房伟 .

中国专利 :CN203007418U ,2013-06-19

[2]

大气压化学气相淀积 [P].

N·W·约翰斯顿 .

中国专利 :CN101432457A ,2009-05-13

[3]

化学气相沉积设备的控制系统 [P].

张义明 ;

陈力兵 ;

祝龙飞 ;

房伟 .

中国专利 :CN103911602A ,2014-07-09

[4]

大气压化学汽相淀积 [P].

N·W·约翰斯顿 ;

K·R·科尔曼约斯 ;

N·A·赖特 .

中国专利 :CN101432458A ,2009-05-13

[5]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[6]

一种化学气相沉积设备及其控制系统 [P].

程金帅 ;

李宏利 ;

孙胜浩 .

中国专利 :CN117758241A ,2024-03-26

[7]

大气压等离子体增强化学气相沉积方法 [P].

克里斯蒂娜·A·罗顿 ;

约翰·M·瓦拉科姆斯基 .

中国专利 :CN101772588A ,2010-07-07

[8]

精密大气压控制测量系统 [P].

张季然 ;

谢崇喜 .

中国专利 :CN210005159U ,2020-01-31

[9]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202705462U ,2013-01-30

[10]

化学气相沉积设备 [P].

胡昌义 ;

雷春明 ;

毛勇 ;

郭锦新 ;

李靖华 ;

周世平 ;

徐云 ;

王云 ;

欧阳远良 .

中国专利 :CN2851277Y ,2006-12-27

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