大气压等离子体增强化学气相沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880100825.3

申请日：

2008-07-15

公开(公告)号：

CN101772588A

公开(公告)日：

2010-07-07

发明(设计)人：

克里斯蒂娜·A·罗顿约翰·M·瓦拉科姆斯基

申请人：

申请人地址：

美国密歇根

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

B05D724

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

陈平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-07	公开	公开
2010-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005579932 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2008801008253 申请日:20080715
2012-05-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101364349122 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2008801008253 公开日:20100707

共 50 条

[1]

等离子体增强化学气相沉积方法 [P].

胡宏逵 ;

马哲国 ;

陈金元 .

中国专利 :CN102634775A ,2012-08-15

[2]

等离子体增强化学气相沉积设备 [P].

姜杉 ;

李建东 ;

杨志永 .

中国专利 :CN201587981U ,2010-09-22

[3]

等离子体增强化学气相沉积系统 [P].

王家平 ;

霍冬冬 .

中国专利 :CN210458364U ,2020-05-05

[4]

等离子体增强化学气相沉积设备 [P].

欧阳亮 .

中国专利 :CN120231033A ,2025-07-01

[5]

等离子体增强化学气相沉积装置 [P].

张佳纯 .

中国专利 :CN107675144A ,2018-02-09

[6]

等离子体增强化学气相沉积装置 [P].

陈金元 ;

刘传生 .

中国专利 :CN101974738A ,2011-02-16

[7]

等离子体增强化学气相沉积装置 [P].

韦刚 .

中国专利 :CN101880867A ,2010-11-10

[8]

等离子体增强化学气相沉积设备 [P].

吴斌 .

中国专利 :CN222935510U ,2025-06-03

[9]

等离子体增强化学气相沉积装置 [P].

苏同上 ;

王东方 ;

杜生平 ;

袁广才 .

中国专利 :CN205556778U ,2016-09-07

[10]

等离子体增强化学气相沉积设备 [P].

洪性喆 ;

李万镐 .

中国专利 :CN104769156A ,2015-07-08

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