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等离子体增强化学气相沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010553710.9
申请日：
2010-11-19
公开(公告)号：
CN101974738A
公开(公告)日：
2011-02-16
发明(设计)人：
陈金元
刘传生
申请人：
申请人地址：
英属维京群岛托托拉岛罗德城三一会4301
IPC主分类号：
C23C1650
IPC分类号：
C23C1624
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-10-31 | 授权 | 授权 |
| 2011-02-16 | 公开 | 公开 |
| 2018-05-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/50 登记生效日:20180411 变更事项:专利权人 变更前权利人:上海理想万里晖薄膜设备有限公司 变更后权利人:理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201620 上海市松江区思贤路3255号3幢403室 变更后权利人:225400 江苏省泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧智光人才科技广场16号楼9楼 |
| 2017-04-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750150107 IPC(主分类):C23C 16/50 专利号:ZL2010105537109 登记生效日:20170329 变更事项:专利权人 变更前权利人:理想能源设备有限公司 变更后权利人:上海理想万里晖薄膜设备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:英属维京群岛,托托拉岛,罗德城,三一会,4301 变更后权利人:上海市松江区思贤路3255号3幢403室 |
| 2011-03-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101061118512 IPC(主分类):C23C 16/50 专利申请号:2010105537109 申请日:20101119 |