一种玻璃基板载台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921693817.6

申请日：

2019-10-11

公开(公告)号：

CN210692512U

公开(公告)日：

2020-06-05

发明(设计)人：

丁启民

申请人：

申请人地址：

211500 江苏省南京市六合区雄州街道大雅路7号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

邹仕娟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-05	授权	授权

共 50 条

[1]

玻璃基板载台 [P].

周涛 ;

任烨飞 ;

李朝阳 ;

刘磊 ;

王刘洋 .

中国专利 :CN223332881U ,2025-09-12

[2]

一种玻璃基板载台 [P].

马鹏林 ;

马永生 ;

张云卿 .

中国专利 :CN203444192U ,2014-02-19

[3]

基板载置台 [P].

大河原淳平 .

中国专利 :CN102498554A ,2012-06-13

[4]

玻璃基板载具 [P].

邱智新 ;

黄清辉 ;

毛国强 .

中国专利 :CN2725934Y ,2005-09-14

[5]

一种玻璃基板载台污染物冲洗装置 [P].

江鹏 ;

许飞 .

中国专利 :CN210098356U ,2020-02-21

[6]

玻璃基板载板架 [P].

李青 ;

李赫然 ;

王嘉麟 ;

郭志胜 ;

郑庆宽 ;

郭旺东 ;

宋义锋 ;

耿智勇 .

中国专利 :CN216862447U ,2022-07-01

[7]

一种曝光机基板载台及曝光机 [P].

汪杰 .

中国专利 :CN209606774U ,2019-11-08

[8]

一种曝光机基板载台及曝光机 [P].

汪杰 .

中国专利 :CN209471339U ,2019-10-08

[9]

基板载置台及基板的吸附、剥离方法 [P].

楫间淳生 ;

山口和伸 ;

高濑真治 ;

谷本恒夫 ;

木山孝志 .

中国专利 :CN1754629A ,2006-04-05

[10]

防止静电聚集的玻璃基板载具 [P].

郑瑞忠 ;

薛东瀛 .

中国专利 :CN100565292C ,2008-01-09

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