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基板载置台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201080026572.7
申请日：
2010-05-31
公开(公告)号：
CN102498554A
公开(公告)日：
2012-06-13
发明(设计)人：
大河原淳平
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
B65G4906
代理机构：
北京市隆安律师事务所 11323
代理人：
权鲜枝
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-01-21 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101710183696 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2010800265727 申请公布日:20120613 |
| 2012-06-13 | 公开 | 公开 |
| 2012-07-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101298511970 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2010800265727 申请日:20100531 |