基板载置台及基板的吸附、剥离方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510097673.4

申请日：

2005-08-31

公开(公告)号：

CN1754629A

公开(公告)日：

2006-04-05

发明(设计)人：

楫间淳生山口和伸高濑真治谷本恒夫木山孝志

申请人：

申请人地址：

日本川崎市

IPC主分类号：

B05C502

IPC分类号：

B05C1302

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张天安

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-05	公开	公开
2007-05-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

基板载置台 [P].

大河原淳平 .

中国专利 :CN102498554A ,2012-06-13

[2]

基板载置台及其制造方法和基板处理装置 [P].

南雅人 ;

奥山幸一 .

中国专利 :CN102157423B ,2011-08-17

[3]

玻璃基板载台 [P].

周涛 ;

任烨飞 ;

李朝阳 ;

刘磊 ;

王刘洋 .

中国专利 :CN223332881U ,2025-09-12

[4]

基板载放台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

大桥薰 ;

速水利泰 .

中国专利 :CN1835205A ,2006-09-20

[5]

玻璃基板吸附台以及玻璃基板加工方法 [P].

鸟井秀晴 ;

宫本干大 .

中国专利 :CN101959814B ,2011-01-26

[6]

柔性基板剥离装置及剥离方法 [P].

刘典 .

中国专利 :CN107528009B ,2017-12-29

[7]

一种玻璃基板载台 [P].

马鹏林 ;

马永生 ;

张云卿 .

中国专利 :CN203444192U ,2014-02-19

[8]

一种玻璃基板载台 [P].

丁启民 .

中国专利 :CN210692512U ,2020-06-05

[9]

柔性基板剥离方法 [P].

王选芸 .

中国专利 :CN106711175B ,2017-05-24

[10]

玻璃基板吸附用具及玻璃基板的制造方法 [P].

小林雅尚 ;

伊势博利 ;

松田至 ;

林俊彦 ;

土屋诚 .

中国专利 :CN103910161A ,2014-07-09

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