晶元清洗机结构及控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011514967.3

申请日：

2020-12-18

公开(公告)号：

CN112652555A

公开(公告)日：

2021-04-13

发明(设计)人：

王仕初刘涛蔡真

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道平安大道33号3栋

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B302

代理机构：

深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙) 44555

代理人：

缪太清

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201218
2021-04-13	公开	公开

共 50 条

[1]

晶元多步骤清洗机 [P].

朴钟文 ;

李昇奂 ;

徐埈成 ;

李承恩 ;

尹勤植 ;

安俊镐 ;

田英洙 ;

崔光洛 .

中国专利 :CN205564714U ,2016-09-07

[2]

清洗机控制方法及清洗机 [P].

许涛 ;

柳志康 ;

唐胤 .

中国专利 :CN114343525A ,2022-04-15

[3]

晶圆清洗方法和晶圆清洗机 [P].

李政 ;

曹平 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN118073176A ,2024-05-24

[4]

晶圆清洗方法和晶圆清洗机 [P].

李政 ;

曹平 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN118073176B ,2024-07-09

[5]

晶圆清洗方法及晶圆清洗机 [P].

周鑫 ;

孙志超 ;

李禹佟 ;

李政 .

中国专利 :CN117912935A ,2024-04-19

[6]

清洗机、清洗机的清洗控制方法及控制装置 [P].

胡化奎 ;

梁维培 ;

陶子初 ;

陈立超 ;

陶金民 .

中国专利 :CN113367626A ,2021-09-10

[7]

清洗机的控制方法、系统及清洗机 [P].

任洁 ;

张锦超 ;

方献良 .

中国专利 :CN118140845A ,2024-06-07

[8]

清洗机的控制方法、系统及清洗机 [P].

任洁 ;

张锦超 ;

方献良 .

中国专利 :CN118160938A ,2024-06-11

[9]

晶圆清洗装置及晶圆清洗机 [P].

赵学彬 ;

吴仪 .

中国专利 :CN111790663A ,2020-10-20

[10]

半自动晶圆清洗机及晶圆清洗方法 [P].

江永 ;

顾华平 ;

熊伟 .

中国专利 :CN116936410B ,2024-04-05

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