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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-07-20 | 公开 | 公开 |
| 2011-08-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101102908749 IPC(主分类):H01L 23/528 专利申请号:2010105978667 申请日:20101221 |
| 2014-05-07 | 授权 | 授权 |
| 2020-12-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 23/528 申请日:20101221 授权公告日:20140507 终止日期:20191221 |