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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-19 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/56 申请日:20111107 授权公告日:20160120 终止日期:20201107 |
| 2013-09-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101521123893 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2011103486234 申请日:20111107 |
| 2012-05-23 | 公开 | 公开 |
| 2015-12-23 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725409539 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2011103486234 登记生效日:20151130 变更事项:申请人 变更前权利人:日东电工株式会社 变更后权利人:日立化成株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本大阪府 变更后权利人:日本东京都 |
| 2016-01-20 | 授权 | 授权 |