掩膜版、基于掩膜版的拼接曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910016944.0

申请日：

2019-01-08

公开(公告)号：

CN109541883B

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

李彦辰李月李娜王海龙李金钰

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F138

IPC分类号：

G03F722

代理机构：

北京市立方律师事务所 11330

代理人：

张筱宁;宋海斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	公开	公开
2022-06-14	授权	授权
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/38 申请日:20190108

共 50 条

[1]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974631U ,2011-09-14

[2]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974632U ,2011-09-14

[3]

石晶晶 ;

褚福川 .

中国专利 :CN207799330U ,2018-08-31

[4]

李伟 ;

刘富军 ;

朱杰 ;

魏崇喜 .

中国专利 :CN202886836U ,2013-04-17

[5]

于航 ;

张锋 .

中国专利 :CN202522841U ,2012-11-07

[6]

掩膜版制作方法及掩膜版 [P].

龚建国 ;

刘兴阳 ;

林昌廷 ;

黄展康 ;

隋运武 ;

吕磊 .

中国专利 :CN119352113A ,2025-01-24

[7]

掩膜版及曝光机 [P].

司继伟 ;

刘玉闯 ;

陈德浇 .

中国专利 :CN217386133U ,2022-09-06

[8]

掩膜版及掩膜装置 [P].

张春旭 ;

戴珂 ;

江鹏 ;

吴忠厚 ;

张云天 ;

邓亚飞 .

中国专利 :CN109491199A ,2019-03-19

[9]

掩膜版图形修正方法、掩膜版制备方法及掩膜版 [P].

陈洁 ;

王谨恒 ;

朱斌 ;

张剑 ;

孙鹏飞 ;

曹楠 .

中国专利 :CN115704992A ,2023-02-17

[10]

镂空掩膜版 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN212848466U ,2021-03-30

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