位置检测装置及位置检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110626416.4

申请日：

2021-06-04

公开(公告)号：

CN113885724A

公开(公告)日：

2022-01-04

发明(设计)人：

伊藤聪

申请人：

申请人地址：

日本埼玉县

IPC主分类号：

G06F3041

IPC分类号：

G06N2000

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

任天诺;高培培

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-04	公开	公开

共 50 条

[41]

位置检测装置、位置检测方法及光刻设备 [P].

郑哲 .

中国专利 :CN118567188A ,2024-08-30

[42]

指示位置检测装置及指示位置检测方法 [P].

西野利晴 ;

吉田哲志 ;

小林君平 ;

岩崎信 .

中国专利 :CN102043529B ,2011-05-04

[43]

边缘位置检测装置及边缘位置检测方法 [P].

松村明 .

中国专利 :CN105387808B ,2016-03-09

[44]

指示位置检测装置及指示位置检测方法 [P].

加加美友宏 .

日本专利 :CN119213394A ,2024-12-27

[45]

对焦位置检测装置及对焦位置检测方法 [P].

田中康一 ;

张贻彤 ;

藤川哲也 .

中国专利 :CN108780209B ,2018-11-09

[46]

指示体、位置检测装置和位置检测方法 [P].

小田康雄 ;

山本定雄 ;

杉山义久 .

中国专利 :CN102147675B ,2011-08-10

[47]

聚焦位置检测装置和聚焦位置检测方法 [P].

中潟昌平 ;

近野惠 .

中国专利 :CN105933593A ,2016-09-07

[48]

位置检测装置和位置检测方法 [P].

近冈笃彦 ;

西冈谦 ;

长岛贤治 ;

高桥和浩 .

中国专利 :CN106055087A ,2016-10-26

[49]

位置检测装置和位置检测方法 [P].

油原浩 ;

山下学 .

中国专利 :CN103443990A ,2013-12-11

[50]

位置检测方法以及位置检测装置 [P].

饭田康博 ;

榎伯仁 ;

松浦隆志 .

中国专利 :CN111307034A ,2020-06-19

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