铜蚀刻液组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611197242.X

申请日：

2016-12-22

公开(公告)号：

CN106906474B

公开(公告)日：

2017-06-30

发明(设计)人：

金涩琪金世训

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

代理机构：

上海弼兴律师事务所 31283

代理人：

薛琦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20161222
2017-06-30	公开	公开
2020-08-07	授权	授权

共 50 条

[1]

铜蚀刻液 [P].

米田拓也 ;

石田哲司 ;

山本久光 ;

嘉藤一成 ;

清水良祐 .

中国专利 :CN115433939A ,2022-12-06

[2]

蚀刻液组合物 [P].

李明翰 ;

安镐源 ;

金世训 .

中国专利 :CN108235710B ,2018-06-29

[3]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[4]

铜、钼金属层叠膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及延长该组合物的寿命的方法 [P].

高桥秀树 ;

廖本男 ;

李盈壕 .

中国专利 :CN107075693B ,2017-08-18

[5]

蚀刻液组合物 [P].

金成玟 ;

金奎怖 ;

黄俊荣 ;

徐佳贤 ;

申贤哲 .

韩国专利 :CN119592953A ,2025-03-11

[6]

蚀刻液组合物 [P].

郑钟铉 ;

朴弘植 ;

梁熙星 ;

刘仁浩 ;

鞠仁说 ;

金宝衡 ;

南基龙 .

中国专利 :CN107267987A ,2017-10-20

[7]

蚀刻液组合物 [P].

朴相* ;

吴陈* ;

金益俊 ;

金希泰 ;

尹景湖 ;

金世训 .

中国专利 :CN109518189A ,2019-03-26

[8]

蚀刻液组合物 [P].

梁承宰 ;

李昔准 ;

权五柄 .

中国专利 :CN102597162B ,2012-07-18

[9]

蚀刻液组合物 [P].

徐佳贤 ;

申贤哲 ;

权玳路 ;

黄俊荣 ;

车敬雄 ;

金成玟 .

韩国专利 :CN120945368A ,2025-11-14

[10]

蚀刻液组合物 [P].

李昔准 ;

梁承宰 ;

权五柄 ;

李喻珍 .

中国专利 :CN102648270A ,2012-08-22

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