晶圆搬运装置及使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610287822.1

申请日：

2016-05-04

公开(公告)号：

CN105870045A

公开(公告)日：

2016-08-17

发明(设计)人：

费玖海张志军刘丹史霄

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11004

代理人：

朱丽岩;田世瑢

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	公开	公开
2016-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101682903056 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2016102878221 申请日:20160504
2018-05-18	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113628994B ,2024-09-17

[2]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113628994A ,2021-11-09

[3]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113611646A ,2021-11-05

[4]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113611646B ,2024-04-16

[5]

晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法 [P].

尾坂浩太 .

日本专利 :CN115552583B ,2025-06-27

[6]

晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法 [P].

尾坂浩太 .

中国专利 :CN115552583A ,2022-12-30

[7]

晶圆搬运装置及方法 [P].

彭国豪 .

中国专利 :CN1833969A ,2006-09-20

[8]

晶圆搬运方法、晶圆搬运区域控制方法与晶圆搬运系统 [P].

林家扬 ;

卢炫达 ;

叶明堂 ;

张简士琳 ;

林佩贞 ;

李承哲 .

中国专利 :CN120998802A ,2025-11-21

[9]

晶圆搬运装置、晶圆涂覆系统及方法 [P].

高旭 ;

宋慧 .

中国专利 :CN120767234A ,2025-10-10

[10]

一种驱动组件、晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

朱玉东 ;

常志勇 ;

孟君燕 ;

温宁 .

中国专利 :CN119275169B ,2025-05-06

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