化学机械研磨设备及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910195194.4

申请日：

2009-09-04

公开(公告)号：

CN102009383A

公开(公告)日：

2011-04-13

发明(设计)人：

赵敬民常建光

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-13	公开	公开
2011-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101074687842 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:2009101951944 申请日:20090904
2013-04-03	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101558595967 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2009101951944 申请公布日:20110413

共 50 条

[1]

化学机械研磨设备及化学机械研磨方法 [P].

李福洪 .

中国专利 :CN101362313B ,2009-02-11

[2]

化学机械研磨设备及研磨方法 [P].

蒋锡兵 ;

唐强 .

中国专利 :CN114833716A ,2022-08-02

[3]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[4]

化学机械研磨设备及化学机械研磨的方法 [P].

王贤超 ;

奚民伟 .

中国专利 :CN104827383A ,2015-08-12

[5]

研磨垫、化学机械研磨设备及研磨方法 [P].

徐乃康 ;

王建雄 ;

杨志远 .

中国专利 :CN118204900A ,2024-06-18

[6]

化学机械研磨设备及使用该化学机械研磨设备的研磨方法 [P].

江志琴 ;

李芳 .

中国专利 :CN102310358A ,2012-01-11

[7]

化学机械研磨设备以及化学机械研磨方法 [P].

夏金伟 ;

张中连 ;

龚小春 ;

陈滨 ;

姜北 .

中国专利 :CN102756328A ,2012-10-31

[8]

化学机械研磨方法以及化学机械研磨设备 [P].

翁杰 .

中国专利 :CN113084692B ,2021-07-09

[9]

研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

山本胜利 .

中国专利 :CN113001395A ,2021-06-22

[10]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

邬良 .

中国专利 :CN112959223A ,2021-06-15

← 1 2 3 4 5 →