直写式光刻系统中采用灰度方式提高曝光图形质量的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210048747.5

申请日：

2012-02-29

公开(公告)号：

CN102621816B

公开(公告)日：

2012-08-01

发明(设计)人：

卢云君李显杰刘文海

申请人：

申请人地址：

300000 天津开发区黄海路167号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

天津市三利专利商标代理有限公司 12107

代理人：

闫俊芬

法律状态：

授权

国省代码：

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共 45 条

[1]

无掩膜直写式光刻机系统中图形数据灰度值的计算方法 [P].

卢云君 ;

蒋兴华 ;

李显杰 .

中国专利 :CN102566312A ,2012-07-11

[2]

直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法 [P].

陈勇 ;

陈修涛 ;

张爱民 .

中国专利 :CN102736448A ,2012-10-17

[3]

一种提高曝光图形位置精度的光刻系统及方法 [P].

朱亮 ;

张雷 .

中国专利 :CN103226294A ,2013-07-31

[4]

一种采用灰度补偿制提高光刻曝光能量均匀性的方法 [P].

陈明勇 ;

张放心 ;

王骥 ;

汪飞燕 .

中国专利 :CN101226343A ,2008-07-23

[5]

一种直写式光刻系统的曝光方法 [P].

廖绍良 ;

李幸幸 ;

张雷 .

中国专利 :CN117687270A ,2024-03-12

[6]

直写式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理方法 [P].

李显杰 ;

董帅 .

中国专利 :CN102902164A ,2013-01-30

[7]

一种无掩膜光刻系统中曝光图形临近效应校正方法 [P].

陈明勇 .

中国专利 :CN101261441A ,2008-09-10

[8]

一种直写式光刻机的曝光及图形补偿方法 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN116819903B ,2024-06-04

[9]

直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法 [P].

陈勇 ;

陈修涛 ;

张爱民 .

中国专利 :CN102736449B ,2012-10-17

[10]

直写式光刻系统中图像数据串的压缩方法 [P].

陈勇 ;

张爱民 ;

陈修涛 .

中国专利 :CN102736447A ,2012-10-17

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-27	授权	授权
2013-10-23	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101668273716 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012100487475 变更事项:申请人变更前权利人:合肥芯硕半导体有限公司变更后权利人:天津芯硕精密机械有限公司变更事项:地址变更前权利人:230601 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道68号变更后权利人:300000 天津开发区黄海路167号登记生效日:20130926
2021-11-30	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:天津津芯微电子科技有限公司变更后:浙江津芯微电子科技有限公司变更事项:地址变更前:300000 天津开发区第五大街泰华路12号泰达中小企业发展中心3103室变更后:311100 浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路16号3幢204-5室
2012-08-01	公开	公开
2014-07-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101703119920 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2012100487475 变更事项:专利权人变更前权利人:天津芯硕精密机械有限公司变更后权利人:天津津芯微电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:300000 天津市开发区黄海路167号变更后权利人:300000 天津市开发区第五大街泰华路12号泰达中小企业发展中心3103室登记生效日:20140701
2012-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101329747654 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012100487475 申请日:20120229