光学元件的保持布置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080044073.0

申请日：

2010-07-23

公开(公告)号：

CN102549468B

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

乌尔里克.韦伯赫伯特.霍尔德尔

申请人：

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G02B700

IPC分类号：

G02B702 G03F720 H01L2120

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

邱军

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101746359005 IPC(主分类):G02B 7/00 专利号:ZL2010800440730 申请日:20100723 授权公告日:20140611 终止日期:20160723
2014-06-11	授权	授权
2012-07-04	公开	公开
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101322521292 IPC(主分类):G02B 7/00 专利申请号:2010800440730 申请日:20100723

共 50 条

[1]

光学元件的保持布置 [P].

乌尔里克.韦伯 ;

阿明.舍帕克 ;

赫伯特.霍尔德尔 .

中国专利 :CN102549469A ,2012-07-04

[2]

光学元件和具有光学元件的光学布置 [P].

H-J.保罗 ;

B.比特纳 ;

N.瓦布拉 ;

T.希克坦兹 .

中国专利 :CN106104317A ,2016-11-09

[3]

光学元件、光学布置及系统 [P].

D·菲奥尔卡 ;

M·德格恩特尔 .

中国专利 :CN101793993A ,2010-08-04

[4]

光学元件保持架、光学元件保持装置以及蒸镀装置 [P].

清水浩 .

中国专利 :CN114807885A ,2022-07-29

[5]

用于调准光学元件的光学器件保持装置 [P].

M·利尔曼 ;

M·沃尔夫 ;

J·德尔纳 ;

S·希拉里乌斯 ;

W·德瓦尔 .

中国专利 :CN105612451A ,2016-05-25

[6]

曝光设备的光学元件保持装置 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN100483251C ,2001-10-17

[7]

光学元件的轴向定位保持装置 [P].

崔建波 ;

王洪尊 ;

刘宝会 .

中国专利 :CN102221786B ,2011-10-19

[8]

物镜中光学元件的保持器件 [P].

B·格尔里希 ;

A·武姆布兰德 ;

J·库格勒 ;

A·舍帕赫 ;

C·詹格林 ;

S·布鲁努格赫 .

中国专利 :CN1906541A ,2007-01-31

[9]

用于光学元件保持装置的适配器环和相关的光学元件保持装置 [P].

F·莫雷尼 ;

G·迪保拉 ;

A·科雷亚 ;

F·康吉亚 ;

G·A·邦吉奥诺 .

:CN117467960A ,2024-01-30

[10]

用于反射VUV辐射的光学元件和光学布置 [P].

A·帕齐迪斯 ;

M·克伦兹 ;

H·特劳布 ;

M·哈特林 .

德国专利 :CN118169792A ,2024-06-11

← 1 2 3 4 5 →