物镜中光学元件的保持器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480040835.4

申请日：

2004-11-22

公开(公告)号：

CN1906541A

公开(公告)日：

2007-01-31

发明(设计)人：

B·格尔里希 A·武姆布兰德 J·库格勒 A·舍帕赫 C·詹格林 S·布鲁努格赫

申请人：

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-02-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2007-01-31	公开	公开
2007-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

光刻物镜中光学元件高精度支撑结构 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 ;

彭海峰 .

中国专利 :CN102854597A ,2013-01-02

[2]

用于调准光学元件的光学器件保持装置 [P].

M·利尔曼 ;

M·沃尔夫 ;

J·德尔纳 ;

S·希拉里乌斯 ;

W·德瓦尔 .

中国专利 :CN105612451A ,2016-05-25

[3]

光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 .

中国专利 :CN102854758A ,2013-01-02

[4]

光学元件、发光器件、以及制造光学元件的方法 [P].

毛塚浩一郎 ;

佐佐木裕人 .

中国专利 :CN1552115A ,2004-12-01

[5]

光学元件保持装置、镜筒、曝光装置以及器件的制造方法 [P].

冈田尚也 .

中国专利 :CN101772720A ,2010-07-07

[6]

光学元件的保持布置 [P].

乌尔里克.韦伯 ;

阿明.舍帕克 ;

赫伯特.霍尔德尔 .

中国专利 :CN102549469A ,2012-07-04

[7]

光学元件的保持布置 [P].

乌尔里克.韦伯 ;

赫伯特.霍尔德尔 .

中国专利 :CN102549468B ,2012-07-04

[8]

光学元件、光学器件以及制造光学元件的方法 [P].

南条卓也 ;

中西哲也 .

中国专利 :CN109143473A ,2019-01-04

[9]

物镜光学元件和光学头装置 [P].

向尾将树 ;

岛野健 .

中国专利 :CN101373608A ,2009-02-25

[10]

光学元件 [P].

股木宏至 ;

福井俊巳 .

中国专利 :CN100419461C ,2006-07-19

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