电子束处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480031666.8

申请日：

2004-10-29

公开(公告)号：

CN1875452A

公开(公告)日：

2006-12-06

发明(设计)人：

亚历山德罗斯·T·迪莫斯哈里·K·波奈卡恩提赵军海伦·R·阿默

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J37077

IPC分类号：

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

赵飞

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101638250541 IPC(主分类):H01J 37/077 专利号:ZL2004800316668 申请日:20041029 授权公告日:20100616 终止日期:20141029
2010-06-16	授权	授权
2007-01-31	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-12-06	公开	公开

共 50 条

[1]

电子束处理方法及电子束处理装置 [P].

光冈一行 ;

本多稔 ;

康松润 ;

斋藤祐介 .

中国专利 :CN1534732A ,2004-10-06

[2]

电子束设备 [P].

伊庭润 ;

东尚史 .

中国专利 :CN100583348C ,2008-10-08

[3]

电子束设备 [P].

高田裕子 ;

伊庭润 .

中国专利 :CN101673646B ,2010-03-17

[4]

电子束直写设备和电子束直写方法 [P].

王诗男 ;

刘强 .

中国专利 :CN117766361A ,2024-03-26

[5]

电子束调节系统、电子束处理装置与系统 [P].

S·R.·兰开斯特-拉罗克 ;

C·钱 ;

植村贤介 ;

P·哈雷罗 .

中国专利 :CN203833984U ,2014-09-17

[6]

电子束直写设备和电子束直写方法 [P].

王诗男 ;

刘强 .

中国专利 :CN117766360A ,2024-03-26

[7]

电子束检测设备 [P].

马海禄 ;

赵金玉 .

中国专利 :CN223636806U ,2025-12-05

[8]

电子束固化设备 [P].

方得志 ;

俞春东 .

中国专利 :CN102198443A ,2011-09-28

[9]

电子束照射设备 [P].

内藤仪彦 .

中国专利 :CN1150568C ,2001-08-15

[10]

电子束直写设备 [P].

黄瑾 ;

叶文龙 ;

陈李松 ;

徐洪威 ;

张超 .

中国专利 :CN309536385S ,2025-10-10

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